Case

導入事例
  • 半導体製造装置部品

半導体製造装置向け 真空チャンバー部品の量産化に成功

課題:高い清浄度と±数μmの寸法精度が求められる真空チャンバー部品。試作はできても、量産で品質を安定させることが難しいというご相談でした。

対応:5軸マシニングによる工程集約で取り付け誤差を抑え、三次元測定機による全数検査を組み込みました。加工条件をデジタル管理し、ロット差を最小化。

成果:要求精度を全数で満たしながら、月産ベースでの安定量産を実現。お客様の装置立ち上げスケジュールに貢献しました。